Rapid Thermal Anneal的意思|示意
快速热退火
Rapid Thermal Anneal的网络常见释义
热退火 利用以往的快速加热退火（rapid thermal anneal）方法，一直到杂质分布离散刚一消除，杂质就开始扩散。另一方面，作为形成极浅PN结的方法，那就是人们关注的激光退火方法和快闪灯...
迅速热退火 ... Rotation 旋转 RTA: rapid thermal anneal 迅速热退火 RTP: rapid thermal process 迅速热处理 ...
退火 ...专题报告会顺利召开 Coast Junction Technology Group（WCJTG）的会议上公布的结果显示，快速尖峰热退火（rapid thermal anneal, RTA）之后进行微秒激光退火可以改进多晶栅极的耗尽性能，原本计划在32nm节点的大多数应用中采用的复杂金属栅..