step coverage的意思|示意

覆盖率 由于适用于较大的深宽比（aspect ratio）及良好的阶梯覆盖率（step coverage），铜薄膜的化学气相沉积研究就受到了广泛的关注，是令人感兴趣的课题之一。 主要参考文献： 1 Chang C.

覆盖性 ...(Silane) & TEOS (Tetraethyl Orthosilicate)，但利用TEOS配合LPCVD來进 行沈积之氧化层，因其较佳之阶梯覆盖性 (Step Coverage)，将为本制程所采用，但其 用來解離TEOS之温度偏高(650~750℃)，可行 之解决方式有二：一为借由PECVD之电浆來将 TEOS解離，另一方...

台阶覆盖 ... 等离子生成技术，在抑制了悬突(Overhang，嵌入铜的孔开口部因晶种层较厚而缩小的现象)的同时，还改善了台阶覆盖(Step Coverage)。从而优化了离子密度与能量的均衡。