process chamber的意思|示意

处理室 ... probe-make inspection function探针接触痕检查功能 process chamber处理室 process cup制程杯状容器 ...

制程舱 · 制程舱(Process Chamber)：真正进行溅镀的舱体，即第二级真空舱，随时保持真空状态。

制程腔体 ...入的气体（ O 2 ） 在两个平行板电极之间加上射频（ RF） 电压来形成电浆后顺流（ drwnstream） 至制程腔体（ Process Chamber） 内与光阻进行反应， 达到光阻去除的功能。

工艺反应腔 AMEC公司正在开发用于系统架构和工艺反应腔（process chamber）技术的下一代技术解决方案。迄今为止，该公司已经申请了多项关键性的专利，旨在实现新的晶圆级性能和生产力水平。