soft interference lithography的意思|示意

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软干涉光刻

软性干涉光刻技术宽带等离子系统登场美国科学家最近采用软性干涉光刻技术(soft interference lithography, SIL)，制作出高质量的周期性金属纳米结构，且该结构的对称性可以透过设计加以调整。

干涉光刻技术宽带等离子系统登场美国科学家最近采用软性干涉光刻技术(soft interference lithography, SIL)，制作出高质量的周期性金属纳米结构，且该结构的对称性可以透过设计加以调整。