contact etch stoplayer的意思|示意
美 / /
英 / /
联系蚀刻stoplayer
contact etch stoplayer的网络常见释义
接触孔刻蚀停止层 ...生应变的原理是利用某些特定的工艺步骤．例如浅槽隔离、硅化反应 （silicidation）、接触孔刻蚀停止层（contact etch stoplayer，CESL）以及锗硅嵌入式源 漏（SiGeS／D）等工艺相关的结构，运用其存在的应力，将其施加于器件上以形成应 ...