conformal step coverage的意思|示意
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保形阶跃覆盖率
conformal step coverage的网络常见释义
好保角步阶覆盖性质 ...微米闸极开孔场发射元件之制程，其中复晶矽层系以化学气相沈积(CVD)系 统，而具有良好保角步阶覆盖性质(conformal step coverage)可沈积方式制作闸极。 5.