Spin-on PR Coating的意思|示意

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旋转PR涂料


Spin-on PR Coating的网络常见释义

旋转涂胶 旋转涂胶(Spin-on PR Coating) 一般旋涂光刻胶的厚度与曝光的光源波长有关(因为不同级别的曝光波长对应不同的光刻胶种类和分辨率):I-line最厚,约0.7~3μm...