SiCN thin film的意思|示意
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SiCN薄膜
SiCN thin film的网络常见释义
SiCN薄膜 ...SiCN薄膜；热丝化学气相沉积法(HFCVD)；原子力显微镜(AFM)；X线衍射谱(XRD)；X线光电子能谱(XPS)[gap=1204]Key words: SiCN thin film; hot-filament chemical vapor deposition; atomic force microscope; X-ray diffrac..