Neutral Beam Etching的意思|示意
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中性束蚀刻
Neutral Beam Etching的网络常见释义
中性束刻蚀 有人提出了中性束刻蚀(Neutral Beam Etching，NBE)方法，以解决上述两个问题，但面临着提高中性束流强的刻蚀面积的难题。