Micro electo mechanical systems的意思|示意

微电子机械系统 基于倒装技术的MEMS电容式压力传感器研究 - docin.com豆丁网 在集成电路制造领域的巨大成功，促使 人们利用硅的良好的机械性能来制作微型化的传感器与执行器，也促成了MEMS（微电子机械系统， MicroElectoMechanical Systems）这一交叉学科的兴起。首先问世的硅压力传感器用单晶硅制作成半 导体应变片，使灵敏度得到大大提高。集成电

微型机电系统  微型机电系统(Micro electo mechanical systems,MEMS)是指 集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理、控制唁 路、接口、通信和电源等于一体的微型机电器...