Hard-Surface Cr Mask的意思|示意

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硬面铬掩膜


Hard-Surface Cr Mask的网络常见释义

硬面铬膜图罩 硬面铬膜图罩 ( Hard-Surface Cr Mask ) 玻璃或石英片上溅镀一层厚约60 ~ 100奈米铬(Chromium, Cr)膜 (铬音各),其上旋转涂布一层光学微影或电子束微影用阻 剂。