Edge deifined film growth的意思|示意

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边缘定义的薄膜生长

限边喂膜 ...带质量之间寻觅均衡，其减低成本的技能困难程度比晶锭硅高下边先容几种比力成熟的带硅技能⑴限边喂膜(Edge deifined film growth)带硅技能该技能的工艺历程如次：接纳适当的青灰生产模型从熔硅中直接拉出正八角茴香硅筒，正八角茴香的边长比10cm略长，总管径约...