Deep Reaction Ion Etch的意思|示意
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深反应离子蚀刻
Deep Reaction Ion Etch的网络常见释义
深反应离 DDSOG工 艺的主要特点是采用了硅玻对准键合和深反应离 子刻蚀(Deep Reaction Ion Etch ,DRIE) 两项关键 技术。